処理対象の分析
材料: 光学グレードの石英ガラス
処理機能: マルチ-表面輪郭研削（3つの非対称ファセットを含む）
主な寸法：16×16×10mm（誤差±0.002mm）
爪ほどの大きさしかないこの石英プリズムは、家庭用ハイエンド リソグラフィー装置の光学系の中核となる導光要素です。{0}{1}その 8 つの複雑な曲面は、99.6% の透過率とナノメートル- レベルの屈折精度を達成する必要があり、表面の粗さはリソグラフィー機の露光解像度に直接影響します。
業界の問題点と技術的な問題
ある光学技術会社は、リソグラフィー装置のローカライゼーションを推進する際に、石英プリズムの加工でボトルネックに遭遇しました。
従来の研削欠陥: 手動研磨後の粗さは依然として Sa 120nm に達し、15% の光散乱損失が発生します。
設備の輸入依存: 日本製の超精密研削盤の価格は 1 台で 2,000 万元を超え、納期は 18 か月にもなります。-
「利回り危機」：最初のバッチ500個の試作のうち、基準を満たしたのはわずか32個であり、プロジェクトの進行に深刻な影響を及ぼしました。
「輸入設備は買えず、国内プロセスは良くない」というジレンマが、自主的なリソグラフィー装置開発のプロセスを直接妨げていました。
ビシェンソリューションのソリューション
光学部品の極度の精度要件に応えて、BISHEN 技術チームは革新的な研究開発を開発しました。
1.超音波垂直 5 軸連携処理システム
2. 0.1μm- レベルの動的補償、18 軸リンケージ工作機械の正確な制御
3. 非対称面のマッチング CAD/CAM インテリジェント プログラミング
4. 高周波超音波補助研削技術-
5. 40kHzの超音波振動により切断応力が52%軽減され、石英の微小亀裂が回避されます
6. ダイヤモンドマイクロパウダー砥石の寿命が 3 倍に延長されます-
実際に測定されたパフォーマンスの飛躍的向上
ある種の国産リソグラフィー装置プリズムの量産において、3 つの大きな進歩が達成されました。
1.表面品質：粗さSa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.加工効率: 1 個あたりの作業時間が 14 時間から 3.5 時間に短縮されます。-
3.コスト管理: 設備投資は輸入ソリューションのわずか 1/5
3,000 製品の最初のバッチの歩留まり率は 98.7% に跳ね上がり、顧客はプロトタイプの組み立てを予定より 6 か月早く完了することができました。
について美神
ビシェンPrecision Technology（2017 年設立）は、ハイエンド製造分野の「ボトルネック」テクノロジーの打開に重点を置いています。-同社は東莞に 7,500 平方メートルのデジタル工場を建設し、5 軸リンクマシニング センターや超精密光学研削盤などの輸入機器群を備えています。-超音波加工や極低温切断などの革新的な技術を半導体装置や光電子機器などの分野に応用することで、国内リソグラフィー装置業界チェーン企業20社以上に重要な部品加工ソリューションを提供し、50万点以上の精密光学部品を納入してきました。
